
潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
深入了解江蘇某知名企業的多晶硅生產還原車間(一線電子級潔凈車間),透過1號小窗口的還原爐,可以清晰的看見爐火正旺,多晶硅棒正在成型中...
據現場技術人員講述,還原爐內溫度一般為1050℃,從投料到硅棒出爐需要125個小時,這個車間每爐產量可達1噸。旁邊1號還原爐,兩名“全副武裝”的工作人員正在清理爐子,為下一爐多晶硅生成和出爐緊張有序地準備著。
電子級多晶硅是一種高純的硅材料,因其純度要求達到11N以上,因此要比光伏級多晶硅純度至少提高2-3個數量級,兩者之間存在顯著的品質差異。突破電子級多晶硅核心技術,關鍵還是技術創新,優化改進生產技術和質量控制技術,在產品生產制造、裝置穩定運行等各環節的過程控制上做到精益求精,并通過成百上千次的科學實驗,才能生產出合格、適銷對路的電子級多晶硅產品,實現電子級多晶硅國產化的戰略目標。
人員需要經過換裝、除塵等程序,通過多道風淋門才能進入不同等級的無塵室。事關產品品質,生產高純度多晶硅材料,對環境要求極其苛刻。環境越潔凈,測試出來的電子產品能達到的精密度也就越高。
在這個面積1543平方米的檢測中心,配備了區熔單晶爐(FZ-100),低溫紅外光譜儀,氣相色譜質譜聯用儀,少數載流子壽命測試儀等設備50多臺(套),80%為國外先進設備,核心檢測設備屬國內首臺,設備總投資達4000多萬元。