
潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
ic芯片潔凈車間潔凈車間生產工藝流程:
一、ic產品的制造流程
1、制造單晶硅片
ic產品制造流程的第一步是制造單晶硅片,因為單晶硅片是用來制造IC的,單晶硅片的制造流程主要有拉晶、切割、研磨、拋光和清洗等五個步驟。
2、設計IC
主要就是ic電路的設計,把設計好的電路轉化為版圖,ic設計決定了ic產品的性能和穩定性。
3、制作光罩
承接上一步,把設計好的ic電路版圖等比例縮小轉化到一塊玻璃板上。
4、制造ic
這是ic制造商需要負責的流程,指在單晶硅片上制作集成電路芯片,整個過程主要有蝕刻、氧化、擴散和化學氣相沉積薄膜以及金屬濺鍍等。
5、測試ic
ic制作完成之后,為了確保ic的質量,還需要進行測試,包括功能測試和質量測試。
6、封裝ic
封裝ic是ic制造的最后一步流程,是指晶圓點測后對IC進行封裝,主要的流程有晶圓切割,固晶、打線、塑封、切筋成形等。
二、ic產品制造需要注意的問題
1、產品的原材料的選擇
對于 IC制造商而言,影響產品的成材率,最關鍵的因素是產品原料的質量。因此在選擇產品原料時,一定要小心挑選,選擇那些產品質量好的。在購買原材料時,為了能及時發現問題,一定要有專業人士來挑選。由于專業人員對每一道工序的控制都很嚴格,對于可能出現的問題也有一定的預警,所以在對原材料的選擇上比較有經驗。
2、工藝流程的把控
對產品的原料確定后,在生產工藝過程中,最重要的是對工藝的控制,對于 IC制造商來說,流程需要嚴格按照相關標準進行,如果出現了問題,會對產品的質量產生影響,導致整個產品不能通過檢驗。
3、產品的包裝問題
產品包裝對產品的影響相對較小,但也是一個不容忽視的環節。對于IC制造商來說,產品包裝需要精心設計,選擇材料好、耐用的包裝。
電子潔凈車間潔凈車間建設方案簡要:
電子芯片業無塵車間潔凈室:
1、潔凈度等級要求高,風量、溫度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規范受控,另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。
2、其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內極易產生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來說,電子廠房的溫度應控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關溫濕度規定)。 這時可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。
3、芯片生產車間無塵室、集成電路無塵車間潔凈室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業潔凈室的重要組成部分,由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。
4、電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級(空態):不應大于65dB(A)
5、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。
6、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa
7、電子制造行業萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值:
8、補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
9、保證供給無塵車間潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
10、電子制造行業潔凈室凈化空調系統加熱器,應設置新風,超溫斷電保護,若采用點加濕時應設置無水保護,寒冷地區,新風系統應設置防凍保護措施。無塵室的送風量,
應取下面三項最大值:
1:保證電子制造廠無塵車間潔凈室空氣潔凈度等級的送風量;
2:根據熱,濕負荷計算確定電子廠無塵車間潔凈室的送風量;
3:向電子制造廠潔凈室內供給的新鮮空氣量。
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潔凈車間工程示例如下: