芯片半導體潔凈室建設有嚴格的潔凈度要求，潔凈度要求高，建設費用也越高。同時，芯片潔凈車間潔凈度要求高，所需要的空調風的流量很大，即使普通的100級潔凈室，其房間截面風速大于0.25米/秒，換氣次數都在400次/小吋以上，因而大面積潔凈房間需要龐大的供風設備，耗費很多電能。下面，合潔科技凈化工程公司就新排風和電能的“套用”方案和“并聯”方案進一步講解：

       因此，芯片潔凈室的節能設計是我們需要重要考慮的一個問題。芯片潔凈廠房建設的一次性投資雖然大但還可以接受，但是日常使用電耗的維持費會成為使用者的很大負姐。有些單位由于過高的空調維持費而造成虧損；有些單位耗用巨資，安裝了具有相當規模的空調設施，由于維持費的昂貴競未能投入使用。因而空調系統的節能措施實為廣泛采用潔凈技術的一項重要保證。

       節能措施在設計的時候就要充分考慮，一點疏忽就會造成不可估量的損失。嚴格控制潔凈區域的面積和潔凈度級別等，都是節電的有效方法，不同級別潔凈技術的套用，也是減少議備投資，節能節電的一項有效措施。

       所謂不同級別的潔凈技術的套用，指的是在大面積凈度級別的區域內，套用一些小面積高潔凈度級別的區域，“低潔凈度”的空調新風作為高潔凈度空調風的“新風”。

       有些空調系統中，由于工藝對潔凈度的要求不相同，因而采用了高、低兩種潔凈度并聯使用的設計方案，有些甚至采用三種不同沽凈度并聯使用的方案。這對于僅采用一種活凈度的設計來說，無疑是最好的。

       伹是，由于潔凈面積很大，總的送風量也就很大，因而空調設備相當龐大，而且與潔凈區相距較遠，這樣就不得不采用很多龐大而又很長的送風管路，采甩很多調節閥門、三通、彎頭等。空調風在這樣的管道中作長距離的大循環，部會帶來一定的壓力損失（即風阻），困而不得不選用全壓較商的鼓風設備。為了克服這些不必要的壓力捩失，就要耗損一定的功率。 這個功率的損失足相當可觀的，但是，如果采用不同潔凈技術的套用，把高潔凈度區域套在低潔凈度區域之中，并且把高潔凈區區域化整為零，分割成若干個小的區域，那么高潔凈區部分的很長而又龐大的送回風管路就可以省掉，空調風就不再作大循環，而是在高潔凈區內作小循環，這樣，功率損耗就可以減小。由于高潔凈區的新風采用了低潔凈區的空調風，原風質量提高，含塵量下降，即可以使高潔凈區的潔凈度穩定，又可以延長高潔凈區凈化設備的壽命。

       如果高沽凈區面積較大，而又不同時完全使用，在工藝允許的悄況下，分成若干更小的區域，形成若干個小系統的并聯使用。這樣就可以根據需要使其中的某些系統投入運行，其余系統停止運行，從而也能達到節約一部分電能的目的。

現在以900㎡ 100000級廠房和100㎡100級廠房為例，對“并聯”和“套用”兩種沒計方案進行比較。

       如果采用兩套分立系統并聯使用，那么10000級廠房需2臺NO10C離心通風機分別作送風和時風風機，電動機功率分別為13千瓦和10千瓦。100級廠房全部采用垂直平行流送風方式，則需2臺N O i e B 離心通風機分別作送風和回風風機，電動功率分別為30千瓦和13千瓦，這樣潔凈度為100級的潔凈區，每平方米僅送W 風就需耗用0.43千瓦的功率。兩系統的總功率即為66千瓦。值班甩機采用1臺NO6C離心通風機，電動機的功率為5.5千瓦。

       如果采用不同潔凈度級別的套用，總的送風和回風風機仍可采用2 臺NO10C離心通風機，電動機功率仍為13千瓦和10千瓦。100平方米的高潔凈區可以根據需要劃分成若千個小系統。由于風機全壓只需294Pa，而且不需采用回風機，因而潔凈度為 100級的潔凈區每平方米僅需0.2千瓦左右的功率就可以滿足送風的要求。 那么100平方米潔凈度為100級的廣房僅需20千瓦左右的功率。這樣套用系統的功率僅為43千瓦左右，值班風機仍采用NO6C離心通風機。

       因此，合潔科技凈化工程公司所講解的上述方案的分析可以看出，“套用”方案為“并聯”方案所用功率的65%，100級潔凈區每平方米耗電S由0.43千瓦降到0.2千瓦。如果兩班生產，套用系統毎天比并聯分立系統節約電能3.68千瓦小時，100級潔凈區每平方米毎天節約3.68千瓦小時。每千瓦小時電按0.75元計算每天可節約電能維持費276元。全年按300天生產計算，就珂節約電費8.28萬元。

       套用系統省掉了一些龐大的送、回風管路系統，不但節省了投資費用，特別適合于改建工程，而且也減少了空調能量的耗散。這種龐大的管路系統，即使在保溫設施良好的情況下，每輸送10000立方米的空調氣，夏季可能會吸收4.184M J的熱量，冬季可能會耗散8.37?12.55MJ的熱量。在大型空調系統中，這種能量的耗散也是不可忽視的，因而“套用”系統也可以降低系統的能耗。

       這種不同沽凈技術的“套用”，也可采用兩級“套用”，也可采用多級“套用”。這樣、使用一般的潔凈技術，就可以形成高潔凈度級別的潔凈區域。如果在1000級甚至100級的區域內“套用”0.1μ的凈化工作臺，或者0.1μ的凈化隧道等等，即可以保證工作區域的潔凈度級別、延長0.1μ凈化設備的使用壽命，又可以節約電能。

       我們采用“套用”方案，建造的電子潔凈廠房或非電子潔凈廠房的通過使用證明，高潔凈區潔凈度穩定，過濾器使用壽命延長，各種設備便于維護，特別在節能方面效果顯著；是一項節能的有效捎施。