
潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
無塵室被越來越多的行業(yè)所使用,在建設(shè)中十萬級無塵室被運用的比較廣泛,它適用于一般的凈化廠房,半導(dǎo)體的生產(chǎn)就離不開無塵廠房,那么十萬級半導(dǎo)體無塵室工程的標準有哪些呢?今天就隨合潔電子凈化工程公司一起來了解下吧!
一、十萬級半導(dǎo)體無塵室標準之溫度、濕度,以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜,溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動±2℃。冬季凈化車間濕度控制在30-50%,夏季凈化車間濕度控制在50-70%。
1、配電:主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。
二、噪聲的控制:
1、動態(tài)測試時,標準的噪聲級不應(yīng)超過70分貝A。
2、靜態(tài)測試時,標準的噪聲級不宜大于60分貝A。
三、氣流組織:
1、十萬級半導(dǎo)體無塵室標準之主要采用的送風方式:
(1)局部孔板頂棚送風 ;
(2)帶擴散板高效空氣過濾器頂棚送風;
(3)上側(cè)墻送風 等三種送風方式。
2、十萬級半導(dǎo)體無塵室標準之主要采用的回風方式:
(1)單側(cè)墻下部布置回風口;(2)當采用走廊回風時,在走廊內(nèi)均勻布置回風口或在走廊端部集中設(shè)置回風。
以上就是本篇文章全部講解,想必您讀到這里,一定對為你解答疑惑十萬級半導(dǎo)體無塵室工程的標準有了一定的認識,希望對您有所幫助。