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哪些方法可以維護集成電路無塵車間的空氣潔凈度

2024-01-05
共有4172家企業看過

  集成電路無塵車間的潔凈等級是由一系列的綜合指標來評定的,而要達到規定的潔凈指標,就必須通過完善的潔凈處理措施才行,具體的潔凈措施包括工藝布置、建筑平面、建筑構造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等,其中對集成電路無塵車間潔凈等級起最關鍵決定作用的則是空氣潔凈措施。今天就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下哪些方法可以維護集成電路無塵車間的空氣潔凈度吧!




  1、必須保證集成電路無塵車間內有著很高潔凈度的空氣量。要達到這樣的標準,那么就必須選擇高效或亞高效過濾器(潔凈級別低時)作為終端過濾器,對進入無塵車間的空氣,進行最后一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命,必須使空氣先經中效過濾器進行過濾。

  2、要保證集成電路無塵車間空氣潔凈度,除了要有潔凈的空氣送風外,還要有合理的氣流分布流型,比如在工作區應避免渦流區就一個盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區;氣流的流動有利于潔凈室內的微粒從回風口排走。

  3、有了潔凈的空氣和合理的氣流分布,那么我們還要保證足夠的送風量,這個就需要根據集成電路無塵車間的規格大小來選擇合適的送風設備,這樣既可以稀釋空氣的含塵濃度,又能保證有穩定的氣流流型。

  4、不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。

  通過綜合采取上述方法,可以有效地維護集成電路無塵車間的空氣潔凈度,確保產品質量和生產效率。

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