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集成電路無塵車間溫度與濕度控制方法

2024-09-18
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  集成電路無塵車間對溫度和濕度的控制極為嚴格,這是為了確保生產過程中的產品質量和工作人員的舒適度。以下是合潔科技電子凈化工程公司從多個方面詳細介紹的集成電路無塵車間溫度與濕度的控制方法:

  一、溫度控制方法

  1、設定溫度范圍:

  通常,集成電路無塵車間的溫度應控制在20°C至25°C之間,也有說法認為應控制在18°C至24°C之間。這個范圍既能保證工作人員的舒適度,又能確保設備的正常運行和產品的生產質量。

  2、空調系統:

  采用高效的空調系統是溫度控制的核心。空調系統應具備足夠的制冷和加熱能力,以保持車間溫度在設定范圍內。同時,空調系統應具備良好的空氣過濾功能,以減少空氣中的顆粒物和污染物。

  通過在風管里設置溫濕度一體傳感器檢測回風溫度,并將溫度信號送至PLC(可編程邏輯控制器)進行比較和PID(比例-積分-微分)計算,從而控制冷凍、熱水的電動調節閥的開度,實現溫度調節。

  3、密封與隔離:

  無塵車間應具備良好的密封性和隔離措施,以防止外界空氣進入影響車間溫度。墻壁、門窗等部位應進行密封處理,減少外界空氣的滲透。

  4、設備散熱:

  考慮高功率設備在運行過程中產生的熱量對車間溫度的影響,并采取相應的散熱措施,如安裝散熱設備、優化設備布局等。

  二、濕度控制方法

  1、設定濕度范圍:

  濕度應控制在相對濕度(RH)40%至60%之間,也有特定車間如SMT車間要求濕度控制在50±5%范圍內。這個范圍內有利于防止靜電產生,同時也有助于防止在制造過程中受潮。

  2、加濕與除濕系統:

  根據需要,無塵車間可以配備加濕器和除濕器。加濕器用于增加車間空氣中的濕度,而除濕器則用于減少濕度。通過在風管里設置溫濕度一體傳感器檢測回風濕度,并將濕度信號送至PLC進行比較和PID計算,從而控制加濕器或除濕器的電動調節閥的開度,實現濕度調節。

  例如,可以使用車間專用干霧加濕器,它采用虹吸霧化系統原理,能夠生產更細直徑的噴霧顆粒,避免打濕設備及墻壁,并配有溫濕度自動控制系統,誤差控制在±3%內。

  3、防潮處理:

  對無塵車間進行防潮處理,如使用防潮地板和墻面材料,以減少濕度對車間環境和設備的影響。

  4、人員穿著與密度控制:

  規范工作人員的穿著,避免因為穿著過厚或者不合適的衣物導致溫濕度異常。同時,控制無塵車間內的人員密度,避免人員過多導致溫度升高和濕度波動。

  三、綜合控制措施

  1、實時監測與自動調節:

  使用專門的溫濕度傳感器和調節器實時監測車間內的溫濕度情況,并根據設定的參數自動調節空調、加濕器或除濕器等設備。

  2、定期檢測與維護:

  對溫濕度控制設備和系統進行定期維護和檢測,包括清潔空調過濾器、檢查加濕器和除濕器的工作狀態等,以確保其正常運行和準確控制。

  3、綜合考慮生產工藝和人員舒適度:

  在設定溫濕度范圍時,應綜合考慮生產工藝的要求和人員的舒適度,以確保在滿足生產需求的同時,也提供一個舒適的工作環境。

  通過實施上述措施,可以有效地控制集成電路無塵車間內的溫度和濕度,為生產提供良好的條件,確保產品的質量和生產效率。

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