
潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
百級芯片潔凈車間的換風系統排風設計是確保車間內空氣質量、維持潔凈度等級的重要環節。以下是合潔科技電子凈化工程公司關于百級芯片潔凈車間換風系統排風設計的詳細說明:
一、排風系統設計原則
1、遵循規范:排風系統的設計需要嚴格遵循相關的國家標準和行業標準,如《潔凈廠房設計規范》GB50073-2013等。
2、工藝需求:深入了解芯片生產工藝,熟悉產塵、產熱的特點,制訂出有效的捕塵、排氣(熱)方案,確保不影響生產工藝操作。
3、節能環保:在保證潔凈度的同時,考慮系統的節能性和環保性,降低能耗和排放。
二、排風方式
百級芯片潔凈車間的排風方式主要分為局部排風和全面排風兩種:
1、局部排風:
定義:局部排風系統通過各種類型的排風罩、風管、凈化空氣設備、風機等組成,針對車間內局部工藝設備產生的有害物進行捕集和處理。
優點:可以有效地控制有害物的擴散,保證工作區不被污染,投資較小,經濟可靠。
適用場景:適用于對車間內局部工藝設備產生有害物的處理和排放。
2、全面排風:
定義:全面排風又稱稀釋通風,通過送入足夠量的經過處理的清潔新鮮空氣來稀釋車間內的有害物質濃度,并不斷將有害物質經處理后排出室外。
優點:可以全面改善車間內的空氣質量,適用于局部排風無法有效控制有害物質擴散的情況。
適用場景:當采用局部通風系統無法滿足潔凈度要求時,采用全面通風作為補充或替代方案。
三、排風系統設計要點
1、排風口設置:
排風口應設置在有害物濃度較高的區域,并避免對車間內其他區域造成污染。
排風口與送風口的距離應適當,以防止氣流短路,一般建議保持至少3米的距離。
2、風管布置:
風管布置應盡量減少局部阻力,如彎管、三通、變徑等數量應盡可能少。
彎管的中心曲率半徑不應小于風管直徑或邊長的1.25倍。
風管分支點前后應預留測壓孔,以便于系統調試和后續維護。
3、排風設備:
根據車間面積、換氣次數和有害物濃度等參數,選擇合適的排風設備和凈化設備。
排風設備應具有高效、低噪、易維護等特點,以確保系統長期穩定運行。
4、系統控制:
采用自動化控制系統對排風系統進行監控和調節,以確保系統始終處于最佳運行狀態。
可以通過設置風量調節閥、壓力傳感器等裝置,實現系統風量的精確控制和調節。
四、注意事項
1、防止交叉污染:在排風系統設計時,應防止不同介質之間的交叉污染,確保系統的安全性和可靠性。
2、考慮環保要求:排風系統應滿足當地環保部門的要求,對排放的有害物質進行處理和達標排放。
3、系統維護:定期對排風系統進行清洗、檢查和維護,確保系統的高效運行和延長使用壽命。
綜上所述,百級芯片潔凈車間的換風系統排風設計需要綜合考慮生產工藝需求、潔凈度要求、節能環保等因素,采用科學合理的排風方式和設計要點,確保車間內空氣質量的穩定和達標。