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半導體無塵車間壓差怎么調整

2024-10-29
共有4897家企業看過

  半導體無塵車間的壓差調整是一個復雜但至關重要的過程,它涉及到多個方面的控制和調節。以下是合潔科技電子潔凈工程公司一些關于如何調整半導體無塵車間壓差的方法和建議:

  一、潔凈空調系統的合理設計和配置

  1、確定壓差需求:根據車間的實際情況和潔凈度要求,合理設計和配置潔凈空調系統。一般情況下,潔凈區與非潔凈區之間的壓差不應小于5Pa,潔凈區與室外的壓差不應小于10Pa。

  2、選擇送風口:對于有潔凈度要求的工藝區域,配置高風量、低阻力的送風口;對于一般區域,配置低風量、高阻力的送風口,以實現壓差控制。

  二、壓差控制方法

  1、定風量控制法:

  通過風速儀測量總送風管中的平均截面風速,計算出總送風量,并將其與設計風量進行對比和調整,直至兩者一致。

  確定新風比例,并通過調節新風電動閥來控制新風量。

  通過調整潔凈走廊的回風閥角度(一般為40°~80°),實現對潔凈走廊的壓差控制。

  2、壓差閥控制法:

  壓差閥是一種專門用于控制壓差的裝置,可以安裝在工藝設備與潔凈室之間的隔斷門上。

  通過調節門的開啟程度,壓差閥可以控制潔凈室內外的壓差。

  壓差閥可以自動或手動調節,根據實際需要設定合適的壓差值。

  3、現代化壓差控制系統:

  在關鍵區域安裝壓差傳感器,實時監測壓差值的變化,并將信號傳輸給控制器進行處理。

  控制器根據設定的壓差值進行自動調節,通過調整送風量、排風量等參數來控制壓差。


半導體無塵車間


  三、氣流組織形式的選擇

  1、上送上回或下送上回:根據車間的實際情況進行選擇和設計,以減少渦流和死角,保證車間的潔凈度和生產質量。

  2、垂直單向流或非單向流:根據空氣潔凈度等級的要求選擇合適的氣流流型。

  四、人員培訓和管理

  1、制定嚴格的人員進出管理制度:控制人員的流動性和數量,以減少對車間壓差控制的影響。

  2、加強人員培訓:定期對操作人員進行培訓,提高他們的技能水平和責任心,確保壓差控制得到有效執行。

  五、定期維護和檢測

  1、定期檢測壓差:定期對凈化車間的壓差進行檢測和記錄,確保壓差始終保持在設定的范圍內。

  2、設備維護:對風機、風口、風閥等關鍵設備進行定期檢查和維護,確保其正常運行和有效工作。

  綜上所述,半導體無塵車間的壓差調整需要從潔凈空調系統的設計和配置、壓差控制方法、氣流組織形式的選擇、人員培訓和管理以及定期維護和檢測等多個方面入手。通過這些措施的實施和落實,可以確保半導體無塵車間的壓差得到有效控制和管理,為產品質量和生產環境安全提供有力保障。

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