
潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
在半導體制造業中,潔凈車間的環境控制是至關重要的。尤其是對于百級和千級芯片潔凈車間,FFU(Fan Filter Unit,即風機過濾單元)的布置率直接影響到生產環境的潔凈度和穩定性。合潔科技電子潔凈工程公司將詳細介紹如何計算百級和千級芯片潔凈車間的FFU布置率,以便工程師和設計師能夠合理規劃潔凈車間的空氣凈化系統。
一、潔凈車間等級與換氣次數
首先,我們需要明確潔凈車間的等級。根據ISO 14644-1標準,潔凈車間可以分為多個等級,常見的有十級、百級、千級、萬級和十萬級等。等級數字越小,表示潔凈度越高,空氣中的粒子濃度越低。
對于百級和千級潔凈車間,換氣次數是一個關鍵參數。換氣次數指的是每小時內車間內空氣被完全更換的次數。根據經驗和實踐,百級潔凈車間的換氣次數通常大于等于200次/小時,而千級潔凈車間的換氣次數則在50至100次/小時之間。
二、FFU布置率計算方法
FFU布置率的計算主要基于車間的體積、換氣次數以及FFU的額定風量。以下是具體的計算步驟:
1、確定車間體積:首先,需要測量潔凈車間的面積和高度,然后計算車間體積。例如,如果車間面積為100平方米,高度為3米,則車間體積為300立方米。
2、選擇換氣次數:根據潔凈車間的等級,選擇合適的換氣次數。對于百級潔凈車間,可以選擇200次/小時或更高的換氣次數;對于千級潔凈車間,可以選擇50至100次/小時之間的換氣次數。
3、確定FFU額定風量:FFU的額定風量是指每個FFU在單位時間內能夠處理的空氣量。不同品牌和型號的FFU額定風量可能有所不同,因此在選擇時需要仔細比較。
4、計算FFU數量:根據車間體積、換氣次數和FFU額定風量,可以計算出所需的FFU數量。計算公式為:FFU數量 = 車間體積 × 換氣次數 ÷ FFU額定風量。例如,對于300立方米的車間,如果選擇200次/小時的換氣次數和1500立方米/小時的FFU額定風量,則所需FFU數量為:300 × 200 ÷ 1500 = 40個。
三、考慮其他因素
在計算FFU布置率時,還需要考慮以下因素:
1、車間布局:潔凈車間的布局會影響空氣的流動和分布。例如,如果車間內有大型設備或障礙物,需要特別關注這些區域的空氣流動情況,并可能需要增加FFU數量以確保空氣潔凈度。
2、氣流組織:氣流組織是指車間內空氣的流動方式和方向。合理的氣流組織可以提高空氣凈化效率,減少粒子污染。在設計時,需要確保氣流從潔凈區域流向非潔凈區域,避免交叉污染。
3、FFU布置方式:FFU的布置方式也會影響空氣凈化效果。常見的布置方式包括吊頂安裝、墻面安裝和地面安裝等。在選擇布置方式時,需要考慮車間的結構、設備布局和人員操作等因素。
4、維護和管理:FFU的維護和管理對于保持潔凈車間的空氣潔凈度至關重要。需要定期檢查和更換過濾器,清洗FFU表面和內部組件,以確保其正常運行和高效過濾。
四、結論
FFU布置率的計算是潔凈車間設計的重要環節之一。通過合理選擇換氣次數、準確測量車間體積和確定FFU額定風量,可以計算出所需的FFU數量。同時,還需要考慮車間布局、氣流組織、FFU布置方式以及維護和管理等因素,以確保芯片潔凈車間的空氣潔凈度和穩定性。在實際設計中,可以根據具體情況進行調整和優化,以滿足生產需求和產品質量要求。