
潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
近日,合景智慧建設(廣東)有限公司子品牌合潔科技凈化工程公司(以下簡稱“合潔科技”)正著力建設華南某高端半導體芯片廠房EPC總包項目,其核心10級(ISO 1級)潔凈室以近乎“外科手術級”的環境控制標準,成為行業矚目焦點。作為國內凈化工程領域的領軍企業,合潔科技通過創新技術與精細化施工,為芯片制造打造“無塵無菌”的超級工廠,助力中國半導體產業突破技術瓶頸。
一、為何芯片制造需要“10級潔凈室”—— 一粒灰塵也能毀掉上億顆芯片
在半導體芯片生產中,一顆肉眼不可見的灰塵或一粒0.1微米(相當于頭發絲的千分之一)的微粒,都可能導致電路短路或性能缺陷。隨著芯片制程進入3納米時代,生產環境要求近乎“變態”:
空氣潔凈度:10級潔凈室要求每立方米空氣中≥0.1微米的微粒不超過10個,相當于普通醫院手術室潔凈度的千分之一。
溫濕度穩定性:光刻機工作時,溫度波動超過±0.1℃或濕度偏差超過±1%,就會導致光刻膠變形,直接降低芯片良品率。
靜電與分子污染防控:人體行走產生的靜電足以擊穿納米級電路,而空氣中微量的化學氣體(如氨氣)會腐蝕晶圓表面。
合潔科技通過三大核心技術,將理論標準轉化為可落地的工業實踐。
二、從“鋼筋水泥”到“納米級潔凈”:合潔如何打造芯片制造的“無菌室”
1. 空氣凈化:像篩面粉一樣過濾每一粒塵埃
層層攔截:采用“初效+中效+超高效”三級過濾系統,其中天花板滿布超高效過濾器(過濾效率99.9995%),相當于用“分子篩”攔截比PM2.5小500倍的微粒。
氣流控制:通過計算機模擬設計單向層流,讓空氣像“瀑布”般均勻向下流動,確保無死角凈化,風速偏差控制在±20%以內。
2. 環境穩定:比恒溫箱更精準的“氣候控制”
雙冷源除濕:針對南方高濕環境,采用預冷+深度冷卻組合技術,將空氣露點溫度降至-10℃以下,濕度波動控制在±1%以內。
智能調控:依托自研控制系統,實時監測500多項環境參數,自動調節空調、加濕設備,溫度精度達±0.1℃,堪比實驗室級恒溫箱。
3. 防污染設計:從地面到管道的“全副武裝”
防靜電地面:采用特殊環氧涂層,電阻值精準控制在百萬至十億歐姆之間,確保靜電瞬間導出。
氣體管道“零泄漏”:高純氣體管道焊接后,用氦氣檢測泄漏率(小于1萬億分之一),相當于檢測一個游泳池里的一滴水是否泄露。
三、20年技術積淀:從實驗室到生產線的成功密碼
合潔科技深耕高端制造領域20年,曾為多家行業巨頭打造標桿項目:
某存儲芯片大廠12英寸晶圓產線:交付10級潔凈室及分子污染防控系統,良品率提升至99.99%。
某新型顯示材料超級工廠:創新模塊化施工技術,將工期壓縮25%,成為行業“又快又好”的典范。
粵港澳大灣區某項目:集成智能運維平臺,實現能耗降低30%,年省電費超千萬元。
四、未來愿景:為中國芯片裝上“環境引擎”
“芯片制造是萬億顆微粒的戰爭,潔凈室就是第一道防線。”合潔科技技術總監表示,“我們不僅提供廠房構建從設計、施工到服務的全生命周期保障體系,還將從甲方成本、節能、擴展等方面深化考慮。”
此次項目的成功合作,標志著合潔科技在半導體高端制造領域再樹標桿。憑借“技術+標準+經驗”的三重優勢,合景智慧建設(廣東)有限公司正成為“中國芯”崛起背后不可或缺的隱形冠軍。