
潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
百級電子潔凈車間規(guī)劃詳細方案涉及多個方面,以下是合潔科技電子凈化工程公司的一個綜合性的分享:
一、車間規(guī)劃要點
1、潔凈度控制
百級潔凈度標準要求每立方米空氣中20.5um的顆粒物≤3,520個(對應IS05級),需通過高效過濾器(HEPA/ULPA)和FFU(風機過濾單元)來實現(xiàn)空氣過濾,確保氣流均勻分布,避免渦流或死角。
采用正壓設計,防止外部污染物進入潔凈區(qū)。
2、功能區(qū)劃分
清洗區(qū)、包裝區(qū)、物料暫存區(qū)、人員更衣區(qū)需嚴格分區(qū),避免交叉污染。
人流與物流分離:
人員流程:入口→換鞋一更衣(普通一潔凈服)一風淋室一潔凈區(qū)。
物料流程:入口一粗清潔一傳遞窗一潔凈區(qū)一包裝一成品出口。
3、溫濕度與靜電控制
溫度控制在22+2℃℃,濕度55%+5%,需配備恒溫恒濕空調(diào)系統(tǒng)。
防靜電措施:采用防靜電地板、工作臺、離子風機等,減少靜電對零部件的損傷。
4.建筑與材料選擇
墻面/天花板使用彩鋼板或不銹鋼板,地面采用環(huán)氧自流平或防靜電PVC地板,確保無塵、易清潔。
門窗需密封處理,避免縫隙積塵。
二、核心設備清單
1、空氣凈化系統(tǒng)
FFU+高效過濾器:覆蓋潔凈區(qū)頂棚,確保空氣循環(huán)過濾效率>99.99%。
新風機組+空調(diào)系統(tǒng):調(diào)節(jié)溫濕度,維持正壓環(huán)境。
2、清洗設備
高壓噴淋清洗機:去除表面顆粒污染物。
超聲波清洗機:用于精密零部件的深層清潔。
超純水系統(tǒng)(RO+EDI):提供清洗用水,確保無離子殘留。
3、干燥與包裝設備
真空干燥箱:避免二次污染。
防靜電包裝機:使用防靜電袋或氨氣封裝,保護零部件免受靜電損傷。
4、輔助設備
傳遞窗:用于物料進出潔凈區(qū),減少開門污染。
風淋室:人員進入潔凈區(qū)前的除塵通道。
環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng):實時檢測顆粒物、溫濕度、壓差等參數(shù)。
三、施工與驗收流程
1、施工階段
基礎建設(地面、墻面、天花板)→安裝凈化設備(FFU、空調(diào))→裝修密封→設備調(diào)試。
2、驗收標準
潔凈度測試:使用粒子計數(shù)器檢測顆粒物濃度是否符合IS05級。
壓差測試:確保潔凈區(qū)對非潔凈區(qū)保持正壓(210Pa)。
第三方認證:邀請專業(yè)機構進行潔凈度等級認證。
四、預算參考
建設費用:約2000-3000元/㎡(含彩鋼板、地面、密封材料)。
設備費用:FFU+高效過濾器約3000-4000元/㎡,清洗/干燥設備等。
其他費用:空調(diào)系統(tǒng)、監(jiān)測系統(tǒng)、防靜電設施等。
五、注意事項
人員培訓:操作人員需穿戴潔凈服并定期培訓,避免人為污染。
維護計劃:定期更換過濾器、清潔地面和設備,監(jiān)測系統(tǒng)需每日校準。
通過以上規(guī)劃,可確保生產(chǎn)線在百級潔凈度下高效運行,滿足半導體核心零部件的高標準清洗與封裝需求具體實施時建議咨詢專業(yè)凈化工程公司(如合潔科技)進行定制化設計。