在集成電路制造業中，潔凈廠房的空氣循環設計是至關重要的環節，它不僅直接關系到生產環境的潔凈度，還影響著生產效率和產品質量。隨著半導體技術的不斷發展，對生產環境的潔凈度要求日益嚴格，因此，潔凈廠房的空氣循環設計也在不斷演進和完善。合潔科技電子潔凈工程公司將為大家詳細介紹集成電路制造業潔凈廠房空氣循環設計的三大類型。

　　1、循環空調機配合高效送風口系統

　　適用場景：小規模、低等級要求的潔凈室車間設計2。

　　特點：通過循環空調機將空氣進行過濾和調節，然后通過高效送風口送入潔凈室。

　　優點：結構簡單，易于實現。

　　缺點：

　　運行成本高：對于大面積和高等級潔凈車間，能耗較大。

　　占用空間大：需要較大的機房空間來放置空調機組。

　　電源功耗大：空調機組的運行需要消耗大量電力。

　　2、循環風機配合濕式密封系統

　　適用場景：集成電路制造和無塵車間大面積、高等級要求2。

　　特點：通過循環風機將空氣進行過濾和循環，同時采用濕式密封系統來保持潔凈室的密封性。

　　優點：

　　滿足高潔凈度要求：能夠提供較高的空氣潔凈度。

　　密封性好：濕式密封系統能夠有效防止外部污染物進入。

　　缺點：

　　運行成本高：能耗較大，維護成本也較高。

　　風速、風量調節困難：系統調節靈活性較低。

　　系統升級改造困難：由于結構復雜，升級和改造較為困難。

　　3、FFU(Fan Filter Unit，風機過濾器單元)循環系統

　　適用場景：半導體制造業，特別是8英寸、12英寸芯片制造工廠5。

　　特點：

　　結構組成：整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成。

　　工作原理：由FFU提供循環空氣的動力，將新風、循環風混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層。

　　靜壓層設計：靜壓層相對于工藝層為負壓，確保空氣單向流動。

　　優點：

　　節省運行空間：FFU系統結構緊湊，占用空間小。

　　潔凈度安全性高：通過超高效過濾器，確保空氣潔凈度。

　　運行成本低：相比其他系統，FFU循環系統的能耗較低。

　　操作靈活性高：可以在不影響生產的情況下隨時進行系統升級和調整。

　　應用：在半導體制造業中，FFU循環系統逐漸成為最主要的凈化設計方案3。

　　這三種空氣循環設計類型都是為了滿足集成電路制造業對生產環境潔凈度的高要求。選擇哪種類型需要根據企業的具體情況和需求進行綜合考慮，包括潔凈度要求、生產規模、建設成本、維護成本以及操作靈活性等因素。目前，FFU循環系統因其諸多優點，在半導體制造業中得到了廣泛應用。