
潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
百級芯片潔凈廠房的施工驗收標準和規范涉及多個方面,包括潔凈度、溫濕度控制、氣流組織、材料選擇、施工工藝等。以下是主要的標準和規范總結,具體隨合潔科技電子凈化工程公司一起來了解下吧!
1、潔凈度要求
潔凈度等級:百級潔凈廠房的潔凈度要求為ISO 5級(或FED-STD-209E標準中的100級),即每立方米空氣中粒徑≥0.1微米的粒子數不超過100個。
檢測方法:使用粒子計數器對空氣潔凈度進行檢測,確保符合設計要求。
2、溫濕度控制
溫度:通常控制在22℃±2℃,部分工藝要求更精確的溫度范圍(如22℃±0.5℃)。
濕度:相對濕度一般控制在45%±5%,部分工藝要求更嚴格的范圍(如43%±3%)。
3、氣流組織
氣流流型:百級潔凈廠房通常采用垂直單向流,以確保空氣潔凈度。
送風量:送風量需滿足空氣潔凈度等級和新鮮空氣需求,通常采用高效過濾器(HEPA)或風機過濾器機組(FFU)。
4、材料選擇
墻面、地面和天花板:采用不易積塵、易清潔的材料,如不銹鋼板、鋁板、PVC地板、環氧自流平地坪等。
門窗:使用密封性好的材質,如彩鋼板單向彈簧門和鋁合金窗,并設置自動感應門以減少污染。
5、施工工藝
圍護結構:采用密封性好、防塵性能優良的材料,確保接縫處密封嚴實。
通風與空氣凈化系統:安裝高效、低噪的通風設備及空氣凈化裝置,確保設備安裝牢固、位置準確。
電氣系統:采用低煙無鹵電線電纜,合理布置電線管路,避免交叉和重疊。
給排水系統:保證水質符合生產要求,排水系統需及時排出廢水,并合理設計管路走向。
6、檢測與驗收
空氣潔凈度檢測:使用粒子計數器檢測空氣潔凈度,確保符合ISO 5級標準。
外觀檢測:檢查墻面、地面、門窗等設施的完好性和密封性。
安全與環保檢測:檢查消防設施、電氣系統、給排水系統等是否符合相關法規和標準。
驗收報告:編寫詳細的驗收報告,記錄檢測結果和改進建議。
7、相關標準與規范
國家標準:
《潔凈廠房設計規范》(GB 50073)。
《潔凈廠房施工及質量驗收規范》(GB 51110)。
《通風與空調工程施工質量驗收規范》(GB 50243)。
行業規范:
半導體行業潔凈廠房設計規范。
電子工業潔凈廠房設計規范。
通過嚴格執行上述標準和規范,可以確保百級芯片潔凈廠房的施工質量,滿足芯片生產對潔凈環境的高要求。如需了解更多細節,可參考相關國家標準或咨詢專業潔凈室設計單位。
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