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百級芯片潔凈廠房施工中有哪些驗收標準和規范

2025-03-14
共有1710家企業看過

  百級芯片潔凈廠房的施工驗收標準和規范涉及多個方面,包括潔凈度、溫濕度控制、氣流組織、材料選擇、施工工藝等。以下是主要的標準和規范總結,具體隨合潔科技電子凈化工程公司一起來了解下吧!

  1、潔凈度要求

  潔凈度等級:百級潔凈廠房的潔凈度要求為ISO 5級(或FED-STD-209E標準中的100級),即每立方米空氣中粒徑≥0.1微米的粒子數不超過100個。

  檢測方法:使用粒子計數器對空氣潔凈度進行檢測,確保符合設計要求。

  2、溫濕度控制

  溫度:通常控制在22℃±2℃,部分工藝要求更精確的溫度范圍(如22℃±0.5℃)。

  濕度:相對濕度一般控制在45%±5%,部分工藝要求更嚴格的范圍(如43%±3%)。

  3、氣流組織

  氣流流型:百級潔凈廠房通常采用垂直單向流,以確保空氣潔凈度。

  送風量:送風量需滿足空氣潔凈度等級和新鮮空氣需求,通常采用高效過濾器(HEPA)或風機過濾器機組(FFU)。

  4、材料選擇

  墻面、地面和天花板:采用不易積塵、易清潔的材料,如不銹鋼板、鋁板、PVC地板、環氧自流平地坪等。

  門窗:使用密封性好的材質,如彩鋼板單向彈簧門和鋁合金窗,并設置自動感應門以減少污染。


芯片潔凈廠房的圖片


  5、施工工藝

  圍護結構:采用密封性好、防塵性能優良的材料,確保接縫處密封嚴實。

  通風與空氣凈化系統:安裝高效、低噪的通風設備及空氣凈化裝置,確保設備安裝牢固、位置準確。

  電氣系統:采用低煙無鹵電線電纜,合理布置電線管路,避免交叉和重疊。

  給排水系統:保證水質符合生產要求,排水系統需及時排出廢水,并合理設計管路走向。

  6、檢測與驗收

  空氣潔凈度檢測:使用粒子計數器檢測空氣潔凈度,確保符合ISO 5級標準。

  外觀檢測:檢查墻面、地面、門窗等設施的完好性和密封性。

  安全與環保檢測:檢查消防設施、電氣系統、給排水系統等是否符合相關法規和標準。

  驗收報告:編寫詳細的驗收報告,記錄檢測結果和改進建議。

  7、相關標準與規范

  國家標準:

  《潔凈廠房設計規范》(GB 50073)。

  《潔凈廠房施工及質量驗收規范》(GB 51110)。

  《通風與空調工程施工質量驗收規范》(GB 50243)。

  行業規范:

  半導體行業潔凈廠房設計規范。

  電子工業潔凈廠房設計規范。

  通過嚴格執行上述標準和規范,可以確保百級芯片潔凈廠房的施工質量,滿足芯片生產對潔凈環境的高要求。如需了解更多細節,可參考相關國家標準或咨詢專業潔凈室設計單位。

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